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      1. 反射膜厚儀 F50系列

        反射膜厚儀/測厚儀/F50系列 自動化薄膜測繪Filmetrics F50 系列的產品能以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度。一個電動R-Theta 平臺可接受標準和客制化夾盤,樣品直徑可達450毫米。(耐用的平臺在我們的量產系統能夠執行數百萬次的量測!)測繪圖案可以是極座標、矩形或線性的,您也可以創造自己的測繪方法,并且不受測量點數量的限制。內建數十種預定義的測繪圖案。

        • 品牌:Filmetrics@A KLA Company
        • 型號:F50系列

        反射膜厚儀/測厚儀/F50系列 

        自動多點測量成像


        Filmetrics F50 系列的產品能以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度。一個電動R-Theta 平臺可接受標準和客制化夾盤,樣品直徑標配200mm,可達450mm。(穩定的樣品臺在我們的量產系統能夠執行數百萬次的量測!)

        測繪圖案可以是極座標、矩形或線性的,您也可以創造自己的測繪方法,并且不受測量點數量的限制。內建數十種預定義的測繪圖案。

        不同的F50型號儀器是根據波長范圍來加以區分的。 標準的F50是最受歡迎的產品。一般較短的波長(如F50-UV) 可用于測量較薄的薄膜,而較長的波長則可以用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

        可測樣品膜層:
        基本上所有光滑的,非金屬的薄膜都可以測量。

        可測樣品包括:
        氧化硅 氮化硅 類金剛石 DLC
        光刻膠 聚合物 聚亞酰胺
        多晶硅 非晶硅  

        額外的好處:

        · 每臺系統內建超過130種材料庫, 隨著不同應用更超過數百種

        ·  應用工程師可立刻提供幫助(周一 - 周五)

        · 網上的 “手把手” 支持(需要連接互聯網)

        ·  硬件升級計劃

         

         

         

         

        型號

        厚度范圍*

        波長范圍

        F50

        20nm-70μm

        380-1050nm

        F50-UV

        5nm-40μm

        190-1100nm

        F50-NIR

        100nm-250μm

        950-1700nm

        F50-EXR

        20nm-250μm

        380-1700nm

        F50-UVX

        5nm-250μm

        190-1700nm

        F50-XT

        0.2μm-450μm

        1440-1690nm

        F50-s980

        4μm-1mm

        960-1000nm

        F50-s1310

        7μm-2mm

        1280-1340nm

        F50-s1550

        10μm-3mm

        1520-1580nm



        型號厚度范圍*波長范圍
        F5020nm-70μm380-1050nm
        F50-UV5nm-40μm190-1100nm
        F50-NIR100nm-250μm950-1700nm
        F50-EXR20nm-250μm380-1700nm
        F50-UVX5nm-250μm190-1700nm
        F50-XT0.2μm-450μm1440-1690nm
        F50-s9804μm-1mm960-1000nm
        F50-s13107μm-2mm1280-1340nm
        F50-s155010μm-3mm1520-1580nm

        厚度范圍*
        1nm
        10nm
        100nm
        1μm
        10μm
        100μm
        1mm
        10mm
        F50-UV
        F50-UVX
        F50
        F50-EXR
        F50-NIR
        F50-XT
        F50-s980
        F50-s1310
        F50-s1550



        電話:

        13816692140

        傳真:

        021-55127698

        郵箱:

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