Nanosurf LensAFM鏡頭式原子力顯微鏡
擴展您光學顯微鏡的分辨率
Nanosurf LensAFM 是一個當光學顯微鏡和輪廓儀達到其分辨率極限時可以幫您繼續探究的原子力顯微鏡。它可以像常規物鏡一樣安裝,從而無縫擴展了這些光學儀器的分辨率和測量能力。 LensAFM不僅提供3D表面形貌信息,還可用于分析被測樣品的各種物理特性。
用你常用的儀器進行AFM測量
在越來越多的情境下,研究人員希望結合光學和原子力顯微鏡技術。光學顯微鏡的易用性,篩選能力和(無)樣品制備要求幾乎是無與倫比的。然而,有時目標放大100倍的是不夠的,您想更仔細地觀察一些超出儀器分辨率的微小特征。在常規實驗室環境中,您需要兩個專用儀器,并且有必要將樣品從一個設備轉移到另一個設備。 使用LensAFM則不必如此。憑借其極小的設計和巧妙的安裝機制,您需要做的就是旋轉光學顯微鏡或輪廓儀上的轉盤并運行掃描。
LensAFM將完美地集成到您的工作流程中:將其安裝在光學顯微鏡的轉盤上 - 就像常規物鏡一樣 - 您可以使用正常物鏡選樣品以找到感興趣的區域。隨后,使用集成的8倍光學鏡頭可以再次定位該區域,然后您可以執行AFM測量以獲得更高分辨率的3D信息:以您慣有的方式工作,分辨率和功能卻得到極大提升。
LensAFM具有快速卸載機制,可輕松地將LensAFM安裝到轉臺和從轉臺卸下??烧{安裝保證您可以以高于10μm的精度更換它。芯片安裝座上的對準凹槽還可確保下一個微懸臂的尖端位于相同位置的4μm范圍內,即使在微懸臂更換后也能再次回到相同的特征值。由于這些對準凹槽,您甚至不需要在微懸臂上執行激光對準,從而節省了額外的時間。
LensAFM 為您的光學顯微鏡帶來了所有這些測量功能,無需重新思考一整個新的工作流程。觀看視頻,了解提升您的顯微能力是多么容易。
提升光學顯微鏡的能力
由于光學顯微鏡的分辨率受光的波長限制,因此光學系統在可實現的分辨率上有一個極限。在越來越多的應用中,就需要光學和原子力顯微鏡的組合。此外,AFM可以無障礙表征透明樣品或其他難以光學評估的樣品。且不僅僅是樣品的形貌:AFM還允許獲得其他材料特性的知識,例如,表面粗糙度,硬度變化,磁性或電導/電阻。
LensAFM 成像模式
以下描述為儀器所具備的模式。某些模式可能需要其他組件或軟件選項。詳情請瀏覽產品手冊或直接聯系我們
標準成像模式
靜態力模式
動態力模式(輕敲模式)
相位成像模式
電性能
導電探針 AFM (C-AFM)
壓電力顯微 (PFM)
靜電力顯微 (EFM)
開爾文探針力顯微(KPFM)
掃描擴散電阻顯微 (SSRM)
磁性能
磁力顯微
機械性能
力調制
力譜
力映射
其他測量模式
刻蝕和納米操縱
LensAFM 應用示例
LensAFM /光學平臺組合提供了一個互補的成像系統,極大地擴展了這些儀器單獨的分辨率和測量能力,如下面的三張圖所示
相同區域由LensAFM的內置8倍物鏡觀察到的光學視圖。 AFM微懸臂在光學圖像中可見,允許在測量之前容易地定位樣品。
由LensAFM記錄的同樣缺陷的AFM形貌。該區域的三維數據清楚地識別出該缺陷為涂層上的一個洞,部分被碎屑填充。
系統參數
LensAFM 掃描頭參數 | ||
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最大掃描范圍 (XY)(1,2) | 110 μm | 70 μm |
最長 Z-范圍(1) | 22 μm | 14 μm |
XY-線性平均誤差 | < 0.6% | < 1.2&% |
Z-測量噪聲水平 (RMS, 靜態模式)(3) | 典型值 350 pm (最大值 500 pm) | |
Z-測量噪聲水平 (RMS, 動態模式)(3) | 典型值 90 pm (最大值 150 pm) | |
自動樣品趨近 | 內置電動平行趨近,行程4.5 mm | |
微懸臂對準 | 通過對準芯片技術自動進行自調整 | |
樣品觀察(4) | 內置 8× 物鏡, 45或60 mm副焦距離(5) | |
AFM 測量再定位精度 | ±10 μm (包括微懸臂更換,掃描頭重新安裝和接近) | |
(1) 對于110-μm 掃描頭,制造公差為±10%; 對于70-μm 掃描頭,制造公差為±15% (2) AFM掃描方向旋轉45°時的最大掃描范圍 (3) 使用C3000控制器測量,在穩定的桌面上進行主動隔振,并在低噪聲實驗室環境中使用(無空調) (4) 對于不同的光學顯微鏡類型,均可提供具有正確副焦距的適配器 |
C3000 控制器 — 核心硬件參數 | |
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X/Y/Z-軸掃描和位置控制器 | 3× 24-bit DAC (200 kHz) |
X/Y/Z-軸掃描和位置控制器 | 3× 24-bit ADC (200 kHz) |
激勵和調制輸出 | 4× 16-bit DAC (20 MHz) |
模擬信號輸入帶寬 | 0–5 MHz |
主輸入信號捕獲 | 2× 16-bit ADC (20 MHz) 2× 24-bit ADC (200 kHz) |
附加用戶信號輸出 | 3× 24-bit DAC (200 kHz) |
附加用戶信號輸入 | 3× 24-bit ADC (200 kHz) |
附加監控信號輸出 | 2× 24-bit ADC (200 kHz) |
數字同步 | 2× 數字輸出, 2× 數字輸入, 2× I2C 總線 |
FPGA 模塊和嵌入式處理器 | ALTERA FPGA, 32-bit NIOS-CPU, 80 MHz, 256 MB RAM, 多任務操作系統 |
通訊 | USB 2.0 高速連到PC和掃描頭接口 |
系統時鐘 | 內部夸脫(10mhz)或外部時鐘 |
電源 | 90–240 V AC, 70 W, 50/60Hz |
掃描頭尺寸
幾乎可以安裝在任何直立式光學顯微鏡或3D光學輪廓儀上
LensAFM可以像標準物鏡一樣安裝,并通過各種可用的安裝適配器與所有常用的光學顯微鏡和3D輪廓儀(Zeiss,Olympus,Leica,Nikon,Mitutoyo)兼容。
Zeiss / Olympus
BF RMS W20.32 x 0.706, 45 mm
Zeiss
DF M27 x 0.75, 45 mm
Olympus
DF RMS W26x0.706, 45mm
Leica
M25x0.75, 45 mm
Nikon
M25x0.75, 60 mm
Leica
M32x0.75, 45 mm
Nikon
M32x0.75, 60 mm
Mitutoyo
RMS W26x0.706, 95 mm