iMicro納米壓痕儀可輕松測量硬涂層，薄膜和少量材料。該儀器準確、靈活，并且用戶友好，可以提供壓痕、硬度、劃痕和通用納米級測試等多種納米級機械測試。 可互換的驅動器能夠提供大動態范圍的力荷載和位移，使研究人員能夠對軟聚合物到硬質金屬和陶瓷等材料做出精確及可重復的測試。模塊化選項適用于各種應用：材料性質分布、特定頻率測試、刮擦和磨損測試以及高溫測試。 iMicro擁有一整套測試擴展的選項，包括樣品加熱、連續剛度測量、NanoBlitz3D / 4D性質分布，以及Gemini 2D力荷載傳感器，可以提供摩擦和其他雙軸測量。
產品描述
iMicro采用InForce 1000驅動器進行納米壓痕和通用納米機械測試，并可選擇添加InForce 50驅動器來測試較軟的材料。InView軟件是一個靈活的現代軟件包，可以輕松進行納米級測試。iMicro是內置高速InQuest控制器和隔振門架的緊湊平臺。 可以測試金屬、陶瓷、復合材料、薄膜、涂層、聚合物、生物材料和凝膠等各種不同的材料和器件。
主要功能
InForce 1000驅動器，用于電容位移測量，并配有電磁啟動的可互換探頭
可選的InForce 50驅動器提供最大50mN的法向力來測量軟性材料，并提供可選的Gemini 2D力荷載傳感器用于雙軸動態測量。獨特的軟件集成探頭校準系統，可實現快速準確的探頭校準
InQuest高速控制器電子設備，具有100kHz數據采集速率和20μs時間常數
XY移動系統以及易于安裝的磁性樣品架
高剛度龍門架，集成隔振功能
帶數字變焦的集成顯微鏡，可實現精確的壓痕定位
ISO 14577和標準化測試方法
InView軟件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus報告、InView大學在線培訓和InView移動應用程序
主要應用
硬度和模量測量(Oliver Pharr)
高速材料性質分布
ISO 14577硬度測試
聚合物tan delta，儲存和損耗模量
定量刮擦和磨損測試
樣品加熱
工業應用
大學、研究實驗室和研究所
半導體行業
PVD / CVD硬涂層（DLC，TiN）
MEMS（微機電系統）/納米級通用測試
陶瓷和玻璃
金屬和合金
制藥
涂料和油漆
復合材料
電池和儲能
汽車和航空航天
硬度和模量測量（Oliver Pharr）
機械表征在薄膜的加工和制造中至關重要，其中包括汽車工業中的涂層質量，以及半導體制造前段和后段的工藝控制。
iMicro納米壓痕儀能夠測量從超軟凝膠到硬涂層的各種材料的硬度和模量。 對這些特性的高速評估保證了在生產線上進行質量控制。
高速材料性質分布
對于包括復合材料在內的許多材料，其機械性能可能因部位而異。 iMicro的樣品平臺可以在X軸和Y軸上移動100mm，并在Z軸方向移動25mm，這使得該系統適用于不同的樣品高度并可以在很大的樣品區域上進行測量。 可選的NanoBlitz形貌和層析成像軟件可以快速繪制任何測得的機械屬性的彩色分布圖。
ISO 14577硬度測試
iMicro納米壓痕儀包括預先編寫的ISO 14577測試方法，可測量符合ISO 14577標準的材料硬度。 該測試方法對楊氏模量、儀器硬度、維氏硬度和標準化壓痕進行自動測量和報告。
聚合物Tan Delta、儲存和損失模量
iMicro納米壓痕儀能夠針對包括粘彈性聚合物的超軟材料測量tan delta和儲存與損耗模量。 儲存與損耗模量以及tan delta是粘彈性聚合物的重要特性，其能量作為彈性能量存儲并作為熱量消耗。 這兩個指標都用于測量給定材料的能量消耗。
定量劃痕和磨損測試
iMicro可以對各種材料進行刮擦和磨損測試。 涂層和薄膜會經過化學機械拋光（CMP）和引線鍵合等多道工藝，考驗薄膜的強度及其與基板的粘合性。 重要的是這些材料在這些工藝中抵制塑性變形，并且保持原樣而不會基板起泡。 理想地，介電材料應具有高硬度和彈性模量，因為這些參數有助于確定材料在制造工藝下會如何反應。
高溫納米壓痕測試
高溫下的納米壓痕對于表征熱應力下的材料性能至關重要，特別對熱機械工藝中的失效機理進行量化。 在機械測試期間改變樣品溫度不僅能夠測量熱引起的行為變化，還能夠量化在納米級別上不易測試的材料過渡塑性。
iMicro 選項可供選擇，配合您的新產品，或后續使用。 請聯系你的銷售代表獲取更多相關信息。
連續剛度測量 (CSM)
連續剛度測量用于量化動態材料特性，例如應變率和頻率引起的影響。CSM技術采用在壓痕期間振蕩壓頭以測量隨深度、力荷載、時間或頻率而變化的特性。 該選項包括恒定應變率實驗，該實驗測量硬度和模量與深度或載荷的函數關系，這是學術界和工業界最常用的測試方法。 CSM還可用于其他高級測量選項，包括用于存儲和損耗模量測量的ProbeDMA?方法和與基板無關的測量方法AccuFilm?。CSM功能集成在InQuest控制器和InView軟件中，易于使用并且保證數據質量。
InForce 50 驅動器
InForce 50驅動器采用高達50mN的力度進行納米力學測試。電磁力專利技術應用可確保穩定的測量和力荷載與位移的長期穩定性。行業領先的機械設計確保諧波運動受限于一個自由度，從而力荷載和位移可控制在一個軸向。InForce 50驅動器與CSM、NanoBlitz、ProbeDMA、生物材料、樣品加熱、劃痕、磨損和ISO 14577等測試選項兼容。整個系列的InForce和Gemini驅動器的壓頭都可以互換。
Gemini 雙軸驅動器
Gemini雙軸技術為第二個橫軸提供了標準壓痕性能，并且采用CSM同時沿兩個軸運行。該專利技術所增加的信息有助于深入了解材料特性和失效機理。二維傳感器是測量橫向力和摩擦測量所必須的，并能夠用于測量泊松比、摩擦系數、劃痕、磨損、剪切和拓撲。
300°C樣品加熱
300°C樣品加熱選項允許將樣品放入工作室中進行均勻加熱的同時使用InForce 50驅動器進行測試。該選項包括高精度溫度控制、惰性氣體回填以減少氧化，以及冷卻以去除廢熱。 ProbeDMA，AccuFilm，NanoBlitz和CSM均與樣品加熱選項兼容。
NanoBlitz 3D
NanoBlitz 3D利用InForce 50驅動器和Berkovich壓頭繪制高E（> 3GPa）材料的納米力學性質的3D分布。NanoBlitz以每個壓痕<1s實現多達100,000個壓痕（300x300陣列），并對陣列中的每個壓痕在指定負載下測量楊氏模量（E）、硬度（H）和剛度（S）值。大量的測試數據能夠提高統計的準確性。直方圖顯示多個階段或材料。NanoBlitz 3D方法包具有可視化和數據處理功能。
NanoBlitz 4D
NanoBlitz 4D利用InForce 50驅動器和Berkovich壓頭為低E/H和高E（> 3GPa）材料繪制4D納米機械特性的分布。NanoBlitz以每次壓縮5-10s進行多達10,000個壓痕（30×30陣列）測試，并以每個壓痕的深度為函數對楊氏模量（E）、硬度（H）和剛度（S）進行測量。 NanoBlitz 4D采用恒定應變率方法。該功能包具備可視化和數據處理功能。
AccuFilm?薄膜方法組合
AccuFilm薄膜方法組合是一種基于Hay-Crawford模型的InView測試方法，采用連續剛度測量（CSM）對基板無關的材料特性進行測量。AccuFilm對軟基板上硬性薄膜測量進行基板材質的影響的校正，也對硬基板上的軟性薄膜進行同類的校正。
ProbeDMA? 聚合物方法組合
聚合物包提供了對聚合物的復數模量作為頻率的函數進行測量的能力。該包裝包括平沖頭、粘彈性參考材料和用于評估粘彈性的測試方法。傳統動態力學分析（DMA）測試儀器無法很好地表征的納米級聚合物和聚合物薄膜，而這種技術是對其進行表征的關鍵。
生物材料方法組合
生物材料方法組合采用約為1kPa的剪切模量以及連續剛度測量（CSM）提供了測量生物材料的復數模量的能力。該選項包括平沖頭和用于評估粘彈性的測試方法。對于傳統流變儀無法測量的的小規模生物材料，這種測量技術對其表征十分關鍵。
劃痕和磨損測試方法組合
劃痕測試在以指定速度在樣品表面上移動時對壓頭施加恒定或斜坡載荷。劃痕測試允許表征薄膜、脆性陶瓷和聚合物等在內的很多材料。
DataBurst
DataBurst 功能使配備InView軟件和InQuest控制器的系統能夠以> 1kHz的速率記錄位移數據，用于測量高應變階躍負載、彈出和其他高速事件。配備用戶方法開發選項的iMicro系統也可以對使用DataBurst的方法進行修改。
針對InView控制軟件的用戶方法開發
InView是一個功能強大、直觀的實驗腳本平臺，可用于設計新穎或復雜的實驗。 經驗豐富的用戶使用配備獨有InView選項的iMicro系統設置幾乎可以進行所有小規模機械測試。
采用模塊機架系統的主動隔振
可選用的高性能主動隔振系統為iMicro納米壓痕儀其內置隔振裝置的基礎上提供額外的隔振功能。該系統易于安裝并可在所有六個自由度上減少振動，無需調試。 模塊化機架系統將所有組件囊括在集成機架內以方便使用。
True Test I-V電氣測量
采用InView軟件控制，iMicro 納米壓痕儀的True Test I-V選項是使用精密電流表和電壓源、通過壓頭電路和導電壓頭。 該設計幫助用戶對樣品施加特定電壓，測量壓頭處的電流，且同時操作InForce 50或InForce 1000驅動器。
線性光學編碼器
iMicro的線性光學編碼器（LOE）選項集成在X和Y移動平臺中，可提高測試工藝的位置精度和產量。
壓頭和校準樣品
InForce 50、InForce 1000和Gemini驅動器采用可互換的壓頭。系統配有有各種各樣的尖銳壓頭，如Berkovich、立方角和維氏，以及平面沖頭、球形沖頭和其他幾何形狀。整個產品系列也提供標準參考材料和校準標準。