探針式輪廓儀原理及應用 瀏覽量:11 | 發布時間:2022-08-23

　　探針輪廓儀使用在表面上移動的探針的高度和波動來確定被測表面輪廓。探針式輪廓儀的測量是一種接觸式方法，它能夠精密的測量薄膜的高度，臺階高度，2D形貌，表面粗糙度等參數。探針式輪廓儀的接觸力只有幾毫克，因此不會劃傷零件表面。

　　D-300探針輪廓儀基本測量參數

　　·臺階高度：幾納米至1000μm

　　·低觸力：0.5至15mg

　　·視頻：500萬像素率彩色攝像頭

　　·梯形失真校正：消除側視光學系統引起的失真

　　·圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差

　　·緊湊尺寸：小占地面積的臺式探針式輪廓儀

　　主要的應用

　　·臺階高度：2D臺階高度

　　·紋理：2D粗糙度和波紋度

　　·形式：2D翹曲和形狀

　　應用案例

　　臺階高度

　　D-300探針式輪廓儀可以測量從幾個納米到1000μm的2D臺階高度。Alpha-Step系列具有低觸力功能，可以測量如光刻膠的軟性材料。

　　紋理：粗糙度和波紋度

　　D-300測量2D紋理，量化樣品的粗糙和波紋度，軟件過濾功能可以測量值分離為粗糙度和波紋度部分，并且計算諸如均方根粗糙度之類的參數等。

　　外形：翹曲和形狀

　　D-300可以測量表面的2D形狀或翹曲。這包括對晶圓翹曲的測量，比如說在半導體或者化合物半導體器件生產過程中，多層沉積層結構中層間不匹配是導致翹曲產生的主要原因。Alpha-Step還可以量化包括透鏡在內的結構高度和曲率半徑。